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压阻式压力传感器的压力丈量试验
2016/3/25 8:26:00
压阻式压力传感器的压力丈量试验 一、 试验意图:了解松懈硅压阻式压力传感器丈量压力的原理和办法。 二、 基本原理:松懈硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上松懈出P型或N型电阻条,接成电桥。在压力效果下,依据半导体的压阻效应,基片发生应力,电阻条的电阻率发生很大改动,致使电阻的改动,咱们把这一改动引进丈量电路,则其输出电压的改动反映了所遭到的压力改动。 三、 试验设备:压力源、压力表、压阻式压力传感器、压力传感器试验模板、流量计、三通联接导管、数显单元、直流稳压源±4V、±15V。 四、 试验办法和央求: 1、依据电子电路常识完毕电路联接,主控箱内的气源有些、紧缩泵、储气箱、流量计在主控箱内部已接好。将为标准出的压力表需要放置传感器支架上面,再三通联出接纳中硬管一端的刺进在主控板上的气源快速插座中(留心管子拉出时再请用双指按住气源插座边际往内压,则硬管可轻松拉出)。其他两根软导管分别与规范表和压力传感器接通。将传感器引线插头刺进试验模板的插座中。 2、需要先松开实验流量计下端的进气口调气阀的旋钮,去注册流量计。 3、再合上主控箱上的气源开关,建议紧缩泵,此时可看到流量计中的滚珠浮子在向上浮起悬于玻璃管中。 4、逐渐关小流量计旋钮,使规范压力表指示某一刻度,查询数显表闪现电压的正、负,若为负值则对调传感器气咀接法。 5、细心地逐渐由小到大调度流量计旋钮,使压力闪现在4—14KP之间,每上升1KP分别读取压力表读数,记下相应的数显表值。 6、核算本系统的灵敏度和非线性过失。
五、 思考题: 假定本试验设备要成为一个压力计,则有必要对其进行标定,怎么标定?